Máquina de revestimento de spray fotoresistente de 120k ultra-sônicos com alimentação externa de líquido

Máquina de revestimento por pulverização de fotorresiste ultrassônico de 120k com suprimento de líquido externo

A pulverização de atomização de fotorresiste é um processo central na fabricação de semicondutores para o revestimento preciso de fotorresiste. O princípio chave é transformar o fotorresiste em gotículas minúsculas através da tecnologia de atomização, que são então depositadas uniformemente na superfície do wafer, atendendo aos requisitos de revestimento de wafers de alta precisão e grande tamanho.

Princípio Central: O fotorresiste líquido é atomizado em gotículas uniformes na escala de nanômetros a micrômetros usando fluxo de gás de alta pressão ou vibração ultrassônica.

As gotículas atomizadas são então transportadas por um fluxo de gás direcional, formando um revestimento fino e uniforme na superfície do wafer, com a espessura precisamente controlada no nível de nanômetros.

Vantagens Chave: Alta uniformidade de revestimento, evitando os defeitos de borda espessa e centro fino da centrifugação, atendendo aos requisitos de processos avançados.

Alta utilização de fotorresiste, reduzindo o desperdício de material em mais de 50% em comparação com a centrifugação, diminuindo os custos de produção.

Adequado para wafers de grande tamanho (por exemplo, 12 polegadas e acima) e topografia de superfície complexa, resultando em maior consistência de revestimento.

Qual é o parâmetro do bico de pulverização?

Você tem as imagens do bico de pulverização?

A nanoatomização ultrassônica usa energia ultrassônica para converter líquidos em partículas em nanoescala. Possui aplicações generalizadas nos campos médico e industrial. A seguir, uma descrição detalhada:

Princípio
No campo médico: Um gerador ultrassônico normalmente gera corrente de alta frequência, que é convertida em ondas ultrassônicas por um transdutor ultrassônico. Essa corrente então atua sobre o líquido através de uma membrana ultrassônica na parte inferior do atomizador, quebrando o medicamento em partículas finas. Finalmente, o fluxo de ar gerado pelo dispositivo de suprimento de ar entrega a névoa de medicamento ao paciente para inalação.
No campo industrial: Um bico ultrassônico converte ondas sonoras de alta frequência em energia mecânica, que é transferida para o líquido, gerando ondas estacionárias. O líquido é então direcionado através do bico para a superfície de atomização. Ao sair da superfície de atomização, o líquido é quebrado em uma névoa uniforme de gotículas de tamanho de mícrons, alcançando assim a atomização.

Características
Partículas finas e uniformes: As partículas atomizadas geradas geralmente variam em diâmetro de 1 a 5 mícrons, permanecem suspensas no ar por longos períodos e são relativamente distribuídas uniformemente. No campo médico, isso ajuda a garantir melhor entrega ao trato respiratório inferior e aos pulmões. No campo industrial, pode alcançar revestimentos de filme fino submicrométricos e em nanoescala altamente uniformes. Alta Eficiência e Economia de Energia: O líquido é transferido para o bico de pulverização por gravidade ou por uma bomba de baixa pressão, alcançando atomização contínua ou intermitente. Este processo é livre de entupimentos, sem desgaste, silencioso, sem pressão e sem peças móveis. Nenhuma água de resfriamento é necessária para a atomização, resultando em baixo consumo de energia.

Material e Ecológico: A pulverização despressurizada e de baixa velocidade é facilmente controlada, e as gotículas caem no substrato em vez de ricochetear nele, reduzindo significativamente o overspray, economizando material significativo e reduzindo as emissões ambientais.

Alta Controlabilidade: Fluxo de atomização precisamente controlável, pulverização contínua de baixo fluxo e padrões de pulverização fáceis de controlar e moldar o tornam adequado para aplicações industriais. Através da combinação, o volume de atomização pode ser adaptado para atender a qualquer requisito do usuário. Aplicações
Médica: Por exemplo, dispositivos de atomização ultrassônica oftálmica usam essa tecnologia para quebrar medicamentos em partículas atomizadas em nanoescala para o tratamento de olho seco e blefarite. Essa tecnologia promove a absorção, alivia os sintomas de olho seco e melhora a microcirculação periocular. Na medicina respiratória, a tecnologia de atomização ultrassônica assistida por nanobolhas pode atomizar diretamente medicamentos e nanobolhas em aerossóis finos, aumentando a deposição nos pulmões e sendo usada para tratar condições como cistos pulmonares.

Industrial: As aplicações incluem células de combustível, células fotovoltaicas de filme fino, revestimentos solares de filme fino, células solares de perovskita, revestimentos de grafeno, revestimentos de vidro e circuitos eletrônicos, permitindo revestimentos de filme fino submicrométricos e em nanoescala altamente uniformes.

Paisagismo: Em jardins paisagísticos e espaços comerciais, módulos de atomização ultrassônica podem criar um efeito de névoa envolvente, aumentando a umidade do ar e melhorando o microclima interno. Eles também podem ser combinados com efeitos de iluminação para criar um espetáculo de névoa espetacular e com mudança de cor.

Como os bicos de pulverização ultrassônicos se comparam aos bicos de pulverização tradicionais em termos de eficiência?
Os bicos de pulverização ultrassônicos superam os bicos de pulverização tradicionais em eficiência geral, especialmente para cenários de revestimento de alta precisão, como aplicação de fotorresiste.

Vantagens de Eficiência Central dos Bicos de Pulverização Ultrassônicos

Maior utilização de material: Eles atomizam o fotorresiste em micro/nanogotículas de tamanho uniforme, reduzindo o desperdício em 30-60% em comparação com bicos tradicionais (por exemplo, tipos acionados por pressão) que frequentemente produzem gotículas irregulares ou overspray.
Uniformidade de revestimento superior: A vibração ultrassônica permite uma distribuição consistente de gotículas, minimizando variações de espessura (geralmente dentro de ±5% vs. ±10-15% para bicos tradicionais), o que reduz retrabalho e melhora o rendimento do processo.
Menor consumo de energia: A atomização ultrassônica depende de vibração de alta frequência em vez de alta pressão ou fluxo de ar, reduzindo o uso de energia em 20-40% enquanto mantém o desempenho da pulverização.

Limitações em Relação aos Bicos Tradicionais

Aplicabilidade mais restrita para materiais de alta viscosidade: Bicos de pressão tradicionais lidam com fluidos mais espessos de forma mais eficaz, enquanto os tipos ultrassônicos funcionam melhor com fotorresistes de baixa a média viscosidade.
Custo inicial mais alto: Bicos ultrassônicos têm um investimento inicial maior, embora isso seja compensado por economias de material e energia a longo prazo na produção em massa.

Os bicos de pulverização ultrassônicos oferecem várias vantagens sobre os bicos de pulverização tradicionais em termos de eficiência. Aqui estão alguns pontos chave de comparação:

1. Eficiência de Atomização: Bicos de pulverização ultrassônicos são altamente eficientes na atomização de líquidos em gotículas finas.

2. Redução de Overspray: Bicos de pulverização tradicionais frequentemente geram uma quantidade significativa de overspray, que se refere à perda de líquido que não atinge o alvo pretendido.

3. Qualidade do Revestimento: Bicos de pulverização ultrassônicos são particularmente vantajosos em aplicações onde um revestimento de alta qualidade é necessário.

4. Economia de Material: Devido à sua atomização eficiente e redução de overspray, bicos de pulverização ultrassônicos podem ajudar a economizar nos custos de material.

5. Versatilidade: Bicos de pulverização ultrassônicos podem lidar com uma ampla gama de líquidos, incluindo soluções à base de água, solventes, suspensões e fluidos viscosos.

Vale a pena notar que bicos de pulverização tradicionais têm suas próprias vantagens em certos cenários, como aplicações de alto fluxo ou situações onde gotículas maiores são desejadas. A escolha entre bicos de pulverização ultrassônicos e bicos de pulverização tradicionais depende dos requisitos específicos da aplicação e do resultado desejado em termos de eficiência, qualidade do revestimento e economia de material.

Você pode fornecer exemplos de indústrias ou aplicações onde bicos de pulverização ultrassônicos são comumente usados?

 

Sistema de pulverização ultrassônica
O equipamento de pulverização ultrassônica possui autolimpeza, o que pode evitar a poluição da parede interna do tubo de coleta de sangue durante o processo de pulverização, e também pode evitar a contaminação de seu próprio bico, podendo ser pulverizado e usado em ciclos. O sistema de pulverização ultrassônica pode programar o número, distância, espessura e outros parâmetros de pulverização, de modo a garantir a precisão do efeito de pulverização. O equipamento de pulverização ultrassônica pode economizar matérias-primas, e a taxa de utilização de matérias-primas é de até 85%. Atomizadores ultrassônicos industriais podem ser facilmente adaptados em linhas de produção existentes para pulverização eficiente com saída de qualidade consistente.

Como uma tecnologia comprovada industrialmente, a pulverização ultrassônica tem sido aplicada com sucesso em linhas de revestimento de filme fino de alto desempenho na fabricação de eletrônicos de precisão, como semicondutores, dispositivos de precisão, aplicações de nanotecnologia, células de combustível e células solares. Durante a pulverização ultrassônica, o tamanho e a distribuição das gotículas podem ser precisamente controlados, resultando em partículas com alta área de superfície.

Você pode fornecer o vídeo de trabalho do bico de pulverização?